|
DRCP |
DRCS |
DRCU |
||
|
测量范围 |
X轴 |
100毫米-200毫米 |
||
|
X轴分辨率 |
0.01微米 |
5纳米 |
2纳米 |
|
|
Z1轴 |
±5毫米/±8毫米/±12毫米 |
|||
|
Z1轴分辨率 |
0.01微米 |
5纳米 |
2纳米 |
|
|
Z轴（列） |
450毫米-550毫米 |
|||
|
轮廓精度 |
线性精度 X |
±（1.0+0.02L）μm |
±（0.6+0.02L）μm |
±（0.4+0.02L）μm |
|
线性精度 Z1 |
±（0.4+0.02H）μm |
±（0.3+0.02H）μm |
±（0.2+0.02H）μm |
|
|
角度 |
≤1′ |
|||
|
弧 |
≤±(1.0+R/12)μm |
≤±(0.8+R/12)μm |
≤±(0.5+R/12)μm |
|
|
弧点 |
≤0.5μm |
≤0.3μm |
≤0.25μm |
|
|
笔直 |
0.4μm/100mm |
0.3μm/100mm |
0.2μm/100mm |
|
|
粗糙度精度 |
指示错误 |
±(5nm+0.035A)μm |
±(4nm+0.03A)μm |
±(2nm+0.02A)μm |
|
残差值噪声 |
≤0.006μm |
≤0.004μm |
≤0.002μm |
|
|
适应症重复性 |
3% |
2% |
2% |
|
测量粗糙度和轮廓
分辨率高达0.001μm
自动数据校准
高精度水平X轴
能够测量各种数据：轮廓测量、粗糙度、原始轮廓和波纹度
应用领域
汽车制造业
检查发动机零件、变速箱齿轮、活塞和曲轴等关键部件的表面粗糙度和轮廓参数，以确保装配配合。
航空航天工业
用于航空发动机叶片、起落架结构部件和精密航空航天零件的轮廓和粗糙度检测，以满足高可靠性要求。
精密加工行业
检查精密零件（如切削刀具、模具、轴承和丝杠）的齿形、螺纹、沟槽和其他轮廓参数和粗糙度，以确保加工精度。
模具行业
检查注塑模具和冲压模具型腔和型芯的轮廓和粗糙度，以确保模具加工质量与成品的一致性。
应用案例
亮点
1
集成粗糙度和轮廓同步测量
超高分辨率传感器可同时测量粗糙度和轮廓尺寸，无需在测量过程中更换传感器。
2
1nm超精密干涉光栅测量
采用干涉扫描光栅标尺，分辨率可达1nm，可实现超高精度测量。
3
非平面表面测量误差补偿
独特的粗糙度评估算法和位置补偿方法能够有效校正和补偿非平面表面引起的测量误差。
4
不规则表面一体化精密测量
结合了广泛的测量范围和高精度，可满足对弧形、圆柱形和自由曲面等不规则表面的粗糙度和尺寸进行一体化测量的需求。
5
可自定义模板和批量自动注释
可自定义模板、批量测量和自动注释。
6
零摩擦导轨高精度基准
近乎零摩擦的导轨，无需任何数学修正，即可保持高精度测量基准，从而实现一致的精度。
对此产品有疑问吗？
与我们联系
