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DRCP |
DRCS |
DRCU |
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測定範囲 |
X軸 |
100mm～200mm |
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X軸解像度 |
0.01μm |
5nm |
2nm |
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Z1軸 |
±5mm/±8mm/±12mm |
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Z1軸分解能 |
0.01μm |
5nm |
2nm |
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Z軸（列） |
450mm～550mm |
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輪郭精度 |
線形精度X |
±（1.0+0.02L）μm |
±（0.6+0.02L）μm |
±（0.4+0.02L）μm |
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線形精度 Z1 |
±（0.4+0.02H）μm |
±（0.3+0.02H）μm |
±（0.2+0.02H）μm |
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角度 |
≤1′ |
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アーク |
≤±(1.0+R/12)μm |
≤±(0.8+R/12)μm |
≤±(0.5+R/12)μm |
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アークポイント |
≤0.5μm |
≤0.3μm |
≤0.25μm |
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まっすぐ |
0.4μm/100mm |
0.3μm/100mm |
0.2μm/100mm |
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表面粗さ精度 |
表示エラー |
±(5nm+0.035A)μm |
±(4nm+0.03A)μm |
±(2nm+0.02A)μm |
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残差ノイズ |
≤0.006μm |
≤0.004μm |
≤0.002μm |
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表示の再現性 |
3％ |
2% |
2% |
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表面の粗さと輪郭の両方を測定します。
解像度は最大0.001μm
自動データ校正
高精度水平X軸
輪郭測定、粗さ、元の形状、うねりなど、さまざまなデータを測定可能
アプリケーション
自動車製造業
エンジン部品、ギアボックスギア、ピストン、クランクシャフトなどの主要部品の表面粗さや輪郭パラメータを検査し、組み立て時の適合性を確認する。
航空宇宙産業
航空機エンジンのブレード、着陸装置の構造部品、精密な航空宇宙部品の形状および表面粗さの検査に使用され、高い信頼性要件を満たします。
精密機械加工業界
切削工具、金型、ベアリング、リードスクリューなどの精密部品の歯形、ねじ山、溝、その他の輪郭パラメータおよび粗さを検査し、加工精度を確保する。
金型産業
射出成形金型およびプレス金型のキャビティとコアの形状および粗さを検査し、金型加工品質と完成品との一貫性を確保する。
応用事例
ハイライト
1
表面粗さと輪郭の同時測定機能
超高解像度センサーは、表面粗さと輪郭寸法を同時に測定するため、測定中にセンサーを交換する必要がありません。
2
1nm超精密干渉格子測定
干渉走査型回折格子スケールを採用することで、最大1nmの分解能を実現し、超高精度測定を可能にする。
3
非平面表面測定誤差補正
独自の表面粗さ評価アルゴリズムと位置補正方法により、非平面表面によって引き起こされる測定誤差を効果的に補正します。
4
不規則な表面のオールインワン精密測定
広範囲かつ高精度な測定範囲により、円弧、円筒、自由曲面などの不規則な表面の粗さや寸法を一元的に測定するというニーズに対応します。
5
カスタマイズ可能なテンプレートとバッチ自動注釈
カスタマイズ可能なテンプレート、一括測定、自動注釈機能。
6
摩擦ゼロのガイドレール高精度ベンチマーク
摩擦がほぼゼロのガイドレールは、数学的な補正を必要とせず、一貫した精度を確保するための高精度測定基準を維持します。
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