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DRCP |
DRCS |
DRCU |
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Messbereich |
X-Achse |
100 mm–200 mm |
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Auflösung der X-Achse |
0,01 μm |
5 nm |
2 nm |
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Z1-Achse |
±5 mm / ±8 mm / ±12 mm |
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Z1-Achsen-Auflösung |
0,01 μm |
5 nm |
2 nm |
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Z-Achse (Spalte) |
450 mm–550 mm |
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Konturgenauigkeit |
Lineare Genauigkeit X |
±(1,0+0,02L)μm |
±(0,6+0,02L)μm |
±(0,4+0,02L)μm |
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Lineare Genauigkeit Z1 |
±(0,4+0,02H)μm |
±(0,3+0,02H)μm |
±(0,2+0,02H)μm |
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Winkel |
≤1′ |
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Bogen |
≤±(1,0+R/12)μm |
≤±(0,8+R/12)μm |
≤±(0,5+R/12)μm |
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Bogenpunkt |
≤0,5 μm |
≤0,3 μm |
≤0,25 μm |
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Geradheit |
0,4 μm/100 mm |
0,3 μm/100 mm |
0,2 μm/100 mm |
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Rauheitsgenauigkeit |
Anzeigefehler |
±(5nm+0,035A)μm |
±(4nm+0,03A)μm |
±(2nm+0,02A)μm |
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Restwertrauschen |
≤0,006 μm |
≤0,004 μm |
≤0,002 μm |
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Wiederholbarkeit der Anzeige |
3% |
2% |
2% |
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Messen Sie sowohl die Rauheit als auch die Kontur.
Auflösung bis zu 0,001 μm
Automatische Datenkalibrierung
Hochpräzise horizontale X-Achse
Es ist in der Lage, verschiedene Daten zu messen: Konturmessung, Rauheit, ursprüngliches Profil und Welligkeit.
Anwendungen
Automobilindustrie
Prüft die Oberflächenrauheit und Konturparameter von Schlüsselkomponenten wie Motorteilen, Getrieberädern, Kolben und Kurbelwellen, um die Passgenauigkeit bei der Montage sicherzustellen.
Luft- und Raumfahrtindustrie
Wird zur Kontur- und Rauheitsprüfung von Triebwerkschaufeln, Fahrwerksstrukturbauteilen und Präzisionsteilen für die Luft- und Raumfahrt eingesetzt, um hohe Zuverlässigkeitsanforderungen zu erfüllen.
Präzisionsbearbeitungsindustrie
Prüft das Zahnprofil, Gewinde, Nuten und andere Konturparameter sowie die Rauheit von Präzisionsbauteilen wie Schneidwerkzeugen, Formen, Lagern und Gewindespindeln, um die Bearbeitungsgenauigkeit sicherzustellen.
Formenbauindustrie
Prüft die Kontur und Rauheit von Kavitäten und Kernen von Spritzgussformen und Stanzwerkzeugen, um die Konsistenz zwischen Formverarbeitungsqualität und Endprodukten sicherzustellen.
Anwendungsfälle
Höhepunkte
1
Integrierte synchrone Rauheits- und Konturmessung
Der Sensor mit ultrahoher Auflösung misst gleichzeitig sowohl die Rauheit als auch die Konturabmessungen, wodurch ein Sensorwechsel während der Messung entfällt.
2
1-nm-Ultrapräzisions-Interferometrie-Gittermessung
Nutzt eine interferometrische Abtastgitterskala, die eine Auflösung von bis zu 1 nm erreicht und somit hochpräzise Messungen ermöglicht.
3
Kompensation von Messfehlern auf nicht-planaren Oberflächen
Einzigartige Rauheitsbewertungsalgorithmen und Positionskompensationsverfahren korrigieren und kompensieren effektiv Messfehler, die durch nicht-ebene Oberflächen verursacht werden.
4
Präzisionsmessung für unebene Oberflächen – alles in einem Gerät
Ein breites Spektrum und hohe Präzision werden kombiniert, um den Anforderungen der All-in-One-Messung der Rauheit und Abmessungen unregelmäßiger Oberflächen wie Bögen, Zylinder und Freiformflächen gerecht zu werden.
5
Anpassbare Vorlage & automatische Stapelverarbeitung von Anmerkungen
Anpassbare Vorlagen, Stapelmessung und automatische Annotation.
6
Hochpräzisions-Referenzschiene mit reibungsfreier Führung
Eine nahezu reibungsfreie Führungsschiene, die keine mathematischen Korrekturen erfordert, gewährleistet eine hohe Messgenauigkeit und somit gleichbleibende Präzision.
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