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DRCP |
DRCS |
DRCU |
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측정 범위 |
X축 |
100mm-200mm |
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X축 해상도 |
0.01μm |
5nm |
2nm |
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Z1축 |
±5mm/±8mm/±12mm |
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Z1축 해상도 |
0.01μm |
5nm |
2nm |
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Z축(세로) |
450mm-550mm |
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윤곽선 정확도 |
선형 정확도 X |
±(1.0+0.02L)μm |
±(0.6+0.02L)μm |
±(0.4+0.02L)μm |
|
선형 정확도 Z1 |
±(0.4+0.02H)μm |
±(0.3+0.02H)μm |
±(0.2+0.02H)μm |
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각도 |
≤1′ |
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호 |
≤±(1.0+R/12)μm |
≤±(0.8+R/12)μm |
≤±(0.5+R/12)μm |
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|
아크 포인트 |
≤0.5μm |
≤0.3μm |
≤0.25μm |
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직선 |
0.4μm/100mm |
0.3μm/100mm |
0.2μm/100mm |
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거칠기 정확도 |
표시 오류 |
±(5nm+0.035A)μm |
±(4nm+0.03A)μm |
±(2nm+0.02A)μm |
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잔차 값 노이즈 |
≤0.006μm |
≤0.004μm |
≤0.002μm |
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표시 반복성 |
3% |
2% |
2% |
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거칠기와 윤곽을 모두 측정합니다.
최대 0.001μm의 해상도
자동 데이터 보정
고정밀 수평 X축
윤곽 측정, 거칠기, 원래 프로파일 및 파형 등 다양한 데이터를 측정할 수 있습니다.
응용
자동차 제조 산업
엔진 부품, 변속기 기어, 피스톤, 크랭크축과 같은 주요 구성 요소의 표면 거칠기 및 윤곽 매개변수를 검사하여 조립 적합성을 확인합니다.
항공우주 산업
항공기 엔진 블레이드, 착륙 장치 구조 부품 및 정밀 항공우주 부품의 윤곽 및 표면 거칠기 검사에 사용되어 높은 신뢰성 요구 사항을 충족합니다.
정밀 가공 산업
절삭 공구, 금형, 베어링, 리드 스크류와 같은 정밀 부품의 치형, 나사산, 홈 및 기타 윤곽 매개변수와 표면 조도를 검사하여 가공 정확도를 보장합니다.
금형 산업
사출 금형 및 스탬핑 다이의 캐비티와 코어의 윤곽 및 거칠기를 검사하여 금형 가공 품질과 완제품 간의 일관성을 보장합니다.
적용사례


하이라이트
표면 거칠기 및 윤곽선 동시 측정 통합
초고해상도 센서는 거칠기와 윤곽 치수를 동시에 측정하므로 측정 중 센서를 교체할 필요가 없습니다.
1nm 초정밀 간섭계 격자 측정
간섭계 스캐닝 격자 스케일을 활용하여 최대 1nm의 해상도를 구현함으로써 초고정밀 측정이 가능합니다.
비평면 표면 측정 오차 보정
독창적인 표면 거칠기 평가 알고리즘과 위치 보정 방법은 평평하지 않은 표면으로 인해 발생하는 측정 오류를 효과적으로 수정하고 보정합니다.
불규칙 표면 정밀 측정을 위한 올인원 솔루션
광범위한 측정 범위와 높은 정밀도를 결합하여 호, 원통, 자유형 곡면과 같은 불규칙한 표면의 거칠기 및 치수를 한 번에 측정하는 데 필요한 모든 요구 사항을 충족합니다.
사용자 정의 가능한 템플릿 및 일괄 자동 주석 기능
사용자 지정 가능한 템플릿, 일괄 측정 및 자동 주석 기능을 제공합니다.
무마찰 가이드 레일 고정밀 벤치마크
수학적 보정이 필요 없는 거의 마찰이 없는 가이드 레일은 일관된 정확도를 위한 고정밀 측정 기준을 유지합니다.
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